自動(dòng)化半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)

• 失效分析測(cè)試（FA）
• 質(zhì)量控制測(cè)試（QA）
• 可靠性分析測(cè)試（RA）。其中S540支持高壓功率半導(dǎo)體自動(dòng)化參數(shù)測(cè)試。

S530 功能

• 靈活的探測(cè)器接口選項(xiàng)，包括測(cè)試頭，支持原有吉時(shí)利和 Keysight 裝置
• 觸摸一次探頭即可完成高壓和低壓參數(shù)的測(cè)試
• 通過(guò)全新系統(tǒng)參考單元 (SRU) 進(jìn)行全自動(dòng)系統(tǒng)級(jí)校準(zhǔn)符合最新質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
• KTE 7 中的運(yùn)行狀況檢查軟件工具最大限度地延長(zhǎng)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間和提高數(shù)據(jù)完整性
• 內(nèi)置的瞬態(tài)過(guò)電壓和/或過(guò)電流事件保護(hù)可最大程度地減少代價(jià)高昂的系統(tǒng)停機(jī)或?qū)斐蓳p壞

S540 功能

• 在單次探頭觸摸中自動(dòng)在多達(dá) 48 個(gè)引腳上執(zhí)行所有晶片級(jí)參數(shù)測(cè)試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測(cè)量，而無(wú)需更改電纜或探頭卡基礎(chǔ)設(shè)施
• 在最高達(dá) 3kV 的條件下執(zhí)行晶體管電容測(cè)量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無(wú)需手動(dòng)配置測(cè)試引腳
• 在高速、多引腳、全自動(dòng)測(cè)試環(huán)境中實(shí)現(xiàn)低電平測(cè)量性能
• 非常適合于過(guò)程集成、過(guò)程控制監(jiān)控和生產(chǎn)芯片分類中的全自動(dòng)或半自動(dòng)應(yīng)用
• 通過(guò)最大程度減少測(cè)試時(shí)間、測(cè)試設(shè)置時(shí)間和占地面積，降低擁有成本，同時(shí)實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室級(jí)測(cè)量性能

S500 功能

• 全量程源測(cè)量單元 (SMU) 儀器技術(shù)規(guī)格，包括 subfemtoamp 測(cè)量，確保在幾乎任何設(shè)備上都能執(zhí)行廣泛的測(cè)量。
• 適用于內(nèi)存檢定、電荷泵、單脈沖 PIV（電荷陷阱分析）和 PIV 掃描（自加熱回避）的脈沖生成和超快 I-V。
• 利用支持 Keithley 系統(tǒng)的可擴(kuò)展 SMU 儀器，提供低或高通道數(shù)系統(tǒng)，包括并行測(cè)試。
• 適用于測(cè)試功率 MOSFET 和顯示驅(qū)動(dòng)器等測(cè)試器件的高電壓、電流和功率源測(cè)量?jī)x器。
• 開關(guān)、探頭卡和布線保證系統(tǒng)完全適用于您的 DUT。